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無塵室 (CLEAN ROOM) |
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一、何為無塵室 (Clean Room)： 無塵室又稱清淨室或潔淨室，將室內之空氣做溫度、濕度、氣體流、氣壓及微塵粒子之控制，並配合室內之照明及不發塵之建材合成一體，稱之為清淨室(Clean Room)。 |
二、無塵室氣流方式之比較：
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垂直層流方式 |
水平層流方式 |
非層流方式 |
遂道方式 |
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清淨度 |
1~100 |
100 |
1,000~100,000 |
1~100 |
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生產時清淨度 |
作業者的影響少 |
上流的發塵對下流有影響 |
作業者的影響大 |
作業者的影響最少 |
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設備費 |
高 |
中 |
低 |
中 |
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運轉費 |
高 |
中 |
低 |
中 |
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生產配置變更 |
容易 |
困難 |
容易 |
困難 |
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增設 |
困難 |
困難 |
比較容易 |
比較容易 |
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三、無塵室工程實例： |
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